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近 20 年來特別是近 10 年來，基于高速數字信號的處理技術與微處理技術的快速發展，基于新型探頭材料與工藝的研究以及聲道配置與流量動力學的研究，超聲流量測量技術取得了長足進展，顯示了強勁的技術優勢，發展勢頭迅猛。 2000 年在巴西召開的國際流量測量學術會議（ FLOMEK-O ‘ 2000 ）上共宣讀學術論文集 103 篇，其中直接涉及超聲波流量計及超聲波技術的論文 20 篇，約占論文總數的 1/5 。在歷次國際流量學術會議上，采用超聲波流量計作為傳遞標準的文獻愈來愈多，可見超聲波流量計其潛在的巨大的生命力。

（1） 1928 年德國人研制成功第一臺超聲波流量計，并取得了專利。至今超聲波流量計以有

75 年歷史

（ 2 ） 1955 年首先應用于馬克森（ MAXSON ）流量計測量航空燃燒油，這是一種基于聲循環法的兩組探頭（換能器）組成的液體流量計

（ 3 ） 1958 年 A.L.H-ERDRICH 等人發明折射式探頭，由于他們的研究可進一步消除由于管壁

的交混回響所產生的相位失真，也為管外夾裝提供了理論依據。

進入 20 世紀七十年代以后，由于集成電路和鎖相環路技術的發展，使超聲波流量計得以克服以前的精確度不高，響應慢，穩定性與可靠性差等致命弱點，使實用的超聲波流量計得以發展。