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分子真空泵是利用高速旋轉的轉子把動量傳輸給氣體分子。使之壓縮、排氣的一種真空泵。有如下3中形式。1）牽引分子泵，高速旋轉的轉子表面與氣體分子相碰，把動量傳給氣體分子，將氣體分子拖動到真空泵的出口排出。因此，他是一種動力傳輸泵。2）渦輪分子真空泵，真空泵內裝有多級帶槽的圓盤或葉片的轉子，在定子圓盤間旋轉，轉子的元周線速度很高，通常在分子流狀態下工作。3）復合式分子真空泵，它是由渦輪分子真空泵和牽引分子真空泵優化組合，串聯起來工作的一種佛山真空泵，可在分子流或過度流狀態下工作。
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