測量原理、結構及應用范圍
該儀器形式繁多，例如便攜式電池操作的、帶微處理器可進行數據處理的、顯示多參數的等等。但其本質是一個電容器，通過將一薄層孔狀的氧化鋁沉積在導電的基體上，然后再在氧化鋁薄層上涂敷一層薄金。導電基體和金薄層就形成電容器的電極。水蒸氣穿過金薄層被孔狀的氧化鋁吸收，這個電容器的阻抗與水分子個數，即水汽分壓成一定的比例。通過測量該電容器的阻抗或電容可獲得水汽分壓，通過換算可得到露點值。結構見圖 2-7 。
位于鋁和金電極之間的氧化鋁薄層在 10-3Pa( 約相當于 -110 ℃ 露點 ) 到水的飽和汽壓的整個范圍內都有響應。由于其對水的強烈的親和力，再加上水的較大的介電常數，使得這類儀器對水有高度的選擇性，而對其它普通氣體及有機氣和液體沒有響應。
在中高濕范圍其準確度一般為 ±1~±2 ℃ ，低濕范圍，比如 -100 ℃ 時，準確度一般為 ±2~±3 ℃ 。該類傳感器不與烴類氣體、 CO 、 CO2 、含氯氟烴氣體發生反應，但對于不同的氣體其漂移不同。對于某些腐蝕性氣體，例如氨、 SO3 以及氯，則會損壞傳感器，因此應盡量避免。
使用注意事項
這類儀器通常的測量范圍為 -110 ℃ ~+20 ℃ 。當被測露點較高時，會使得儀器產生較大的漂移。同時還需注意溫度系數。由于其對水汽分壓產生響應，因此應注意測量時氣體總壓的變化。
應避免灰塵、油污，測量時氣體流量較大，一般為 3~5 （ L/min ），甚至更大。
優缺點
優點：較寬的響應范圍，從 1μL/L （ ppmv ）到 80%RH ，可以遠程安裝，可以現場使用，相對穩定，響應較快，溫度系數較小，與流量變化無關，對水分有較高的選擇性，可以在較寬的溫度和壓力范圍內使用，日常維護量較小，體積小。
缺點：該方法是間接測量，在較高的溫度下操作或某些氣體會引起漂移，受腐蝕性氣體的影響，必須定期校準以克服老化、滯后及污染。由于響應值非線性，因此需對每只傳感器進行校準，不能通用。
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